SENSIRION液体流量计SLQ-QT105针对半导体应用
SENSIRION液体流量计SLQ-QT105系列针对要求苛刻的涂料系统的定做，是高达120 ml/min流量的烃基液体的半导 体级-传感器解决方案。

该传感器基于Sensirion成熟的热式传感器技术，开辟了灵敏度、可靠性和速度方面的新前景。SLQ-QT105的快速 响应时间有助于高度动态过程的准确监测，如快速分配操作。该传感器配备4x3mm PFA管件，无运动部件，通过一 个笔直的流道壁进行非侵入性测量。所提供的智能数字接口(如RS485)可实现具有总线能力的远距离通讯。

对于120 ml/min流量的水基液体或高粘度液体，请参阅我们的液体流量计SLQ-QT500。

SENSIRION液体流量计SLQ-QT105性能参数
烃基液体的大流量：120 ml/min
适用于光致抗蚀剂和溶剂
低至低流量的高灵敏度
快速响应时间低至30 ms
RS485、USB或0-10 V模拟电压输出
的耐化学性
惰性触液材质：PCTFE、PFA和石英玻璃材料
保证纯度
笔直流道，无运动部件
大工作压力：3 bar（可按要求提供高压强等级）

应用
半导体过程控制
光刻胶分配
快速给药操作
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